2018年に東京工業大学で開発された,超音速大気圧プラズマジェットです。表面処理効果はプラズマ中で生成された活性種が処理対象表面と反応することで現れますが,活性種は生成した直後から短時間で減少していきます。このため,従来のリモートプラズマは数mm程度の近距離の処理対象しか有効に処理できませんでした。 そこで,低速のガス流で生成した高密度なプラズマを,超音速のパルスジェットで処理対象に高速に輸送する,大気圧プラズマジェットを開発しました。活性種が失活する前に遠方まで輸送されるので,遠距離の大気圧プラズマ処理が可能になります。また,多量の活性種が短時間で処理対象に届くので,同じ距離では高速の処理が実現できます。
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