プラズマ源の特性評価受託
Diagnostics of Plasma Sources

  各種プラズマ源の分光特性測定

プラズマを有効に活用するためにはプラズマの特性を知る必要がありますが,プラズマの特性評価は容易ではありません。弊社では主に分光手法を用いたプラズマ源の特性評価をお受けしております。専門技術者の派遣による出張計測や測定技術の講習等も承ります。

 ・測定パラメータ例:
   特定粒子の発光強度(空間分布,時間変化)
   ガス温度,電子温度,特定粒子の励起温度
   電子密度